特殊ガス産業に注力

電子ガスには、電子特殊ガスと電子バルクガスが含まれます。これらは、集積回路、ディスプレイパネル、半導体照明、太陽光発電、その他の産業の製造プロセスにおいて不可欠かつ重要な材料です。電子特殊ガスは、集積回路製造に必要なサポート材料です。これらは、フォトリソグラフィー、エッチング、膜形成、洗浄、ドーピング、蒸着およびその他のプロセスリンクで広く使用されています。半導体業界の「食物」や「血液」として知られる製品には、純度、安定性、包装容器などに対する高い要求が求められます。集積回路の製造には数千のプロセスが含まれており、非常に複雑であり、数百種類の電子特殊ガスの使用が必要です。集積回路製造では、電子ガスは、さまざまなプロセスに応じてドーピング ガス、イオン注入ガス、クリーニング ガス、エッチング ガス、フォトリソグラフィ ガスに分類できます。電子ガスは広く使用されており、高い技術要件があります。供給源とその供給システムには厳しい要件があります。ガス純度は特殊ガス製品の中核パラメータであり、超高純度かつ超清浄であることが求められます。超高純度では、ガス純度が 4.5N、5N、さらには 6N または 7N に達する必要があります。純度が 1 N 増加するたびに、また粒子と金属不純物の濃度が 1 桁減少するたびに、ガス純度は 1 桁増加します。プロセスの複雑さと難易度が大幅に改善されます。混合ガスの場合、比率の精度が中心的なパラメーターです。製品の成分が増加し、調製精度が高まるにつれて、ガス供給業者は、さまざまな ppm または ppb レベルの濃度のガス成分に対して正確な操作を実行することが求められることがよくあります。